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※この商品はタブレットなど大きいディスプレイを備えた端末で読むことに適しています。また、文字だけを拡大することや、文字列のハイライト、検索、辞書の参照、引用などの機能が使用できません。※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の３訂版登場！ 「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました この度の３訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。第１章 真空の基礎第２章 真空用部品第３章 真空用構成材料第４章 熱第５章 低 温第６章 プラズマ・イオンビーム第７章 表面分析第８章 薄膜・表面加工第９章 応用
9784274231773
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